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MEMS의 기하학적 최적 설계 동향

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작성일 23-12-17 18:46

본문

용량성 마이크로 스위치는 낮은 입출력 손실과 저가의 생산비용의 이점을 가지고 있으며, 기존 핸드폰의 스위치는 배터리가 사용되는 동안 수 밀리 와트(milli-watts)의 전력을 계속 사용하는 것에 비하여 용량성 마이크로 스위치는 핸드폰이동작하는 동안에만 전력을 사용한다는 長點을 가지고 있다 [4-7]이러한 長點 때문에, 핸드폰의 transmit/receive 스위치와 같은 무선통신장치들은 향후 용량성 마이크로 스위치로 대체될 것으로 예상되고 있다 [8] 이러한 용량성 마이크로 스위치의 성능은 Critical collapse voltage, 동property(특성)(switching spped, , Maxiamum working frequency)등의 요인에 의하여 크게 달라진다.

전기적인 에너지가 브릿지와 중앙의 양도체에 전달되면, 발생된 전기 인력에 의하여 브릿지가 유…(생략(省略))

MEMS의 기하학적 최적 설계 동향

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MEMS의기하학적최적설계동향_완성본-기계工學(공학) 부

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다.
2.용량성 마이크로 스위치에서의 최적설계

용량성 마이크로 스위치는 주로 레이더 시스템과 무선 통신에 사용된다된다. 이번 장(Chapter)에서는 단순한 빔(beam)구조물 및 몇가지 복학접인 브릿지(bridge)구조물에서의 기하학적인 조건에 따라서 critical collapse voltage를 줄이는 방법을 알아보며, Dyanmic behavior를 최적화 시키는 방법도 알아본다.

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