재료Engineering - 면저항 측정(測定) 實驗(실험)
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작성일 24-05-07 13:58
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R =ρ(길이/단면적)이다.
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실험과제/재료
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면저항 측정(measurement) experiment(실험)
1. experiment(실험)목적 : 면저항의 槪念을 알고, 직접 면저항을 측정(measurement)해봄으로써 면저항을 측정(measurement)하는 이유와 면저항을 줄일 수 있는 방법을 연구한다. 이것을 다음과 같은 定義(정이)에 의해 다시 요약해 보자. 먼저 얇은 박막의 두께를 T라 하고 폭은 W, 박막의 길이를 L이라 할 때 거기에 흐르는 전류를 I라 한다 하고 위의 저항(R)의 식에 대입해 보면 다음과 같게 된다
그것의 저항 R = ( ρ / T )( L / W )인데 여기서 ( ρ / T )를 면저항 Rs라고 한다. 여기서, ρ는 비저항인데 그러므로 면 저항은 얇은 박막의 두께에 대한 비저항을…(To be continued )
① Van der Pauw`s method
② 4-Point probe method
3 experiment(실험)결과
4.51mΩ
설명
다.
2. 이론(理論)
면저항은 얇은 박막의 저항을 측정(measurement)하는 것인데 박막이라 하는 것은 두께가 0.1μm - 수μm의 두께를 가지는 막을 박막이라 한다. 저항을 계산하는데 저항율보다 훨씬 쉽고 유용하게 사용된다옴의 법칙에서 V = IR 이다.
