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CVD에 관하여

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작성일 24-05-17 18:25

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CVD에 관하여

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CVD에서 기체의 flow는 이 Knudsen number에 의해 viscous, transition, molecular flow로 나눌 수 있다아 Knudsen number가 0.01 보다 작은 flow를 viscous flow라 한다. 이 경우 분자의 mean free path가 짧으므로 기체 분자들의 상호 충돌이 중요하게 된다 Knudsen number가 1보다 클 때 기체와 내부 벽의 충돌이 중요하게 되고 이 것을 molecular flow라고 한다. Knudsen number가 그 사이에 있을 때()를 transition flow라고 하고 이 때는 기체 분자들의 상호 충돌과 기체와 내부 벽의 충돌이 모두 중요하게 된다

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