전기공학 test(실험) - 면저항 test(실험) (4-point probe를 이용하여 박막의 면저항을 측정)
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작성일 23-04-15 12:25
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박막은 circle,square,rectangle이 있을 수 있다
또, 4 point probe에서 전압을 안쪽에서 측정(measurement)하는 이유는 4 point를 시편에 접촉시켰을 때 접촉저항이 발생한다.
그러나 실제로는 그렇지 못하니 보정계수를 통해 값을 보정해준다. 만일 전압계의 내부저항 일 경우 전류는 전압계를 지나지 않아 로 정확히 측정(measurement)이 가능하다.
1.test(실험) 목적
⓸보정표(correction factor)를 사용하는 이유
다. 일반적으로 의 보정계수는 4 point probe의 성적서에 탐침 간격에 대한 오차가 없는 경우 1.0으로 취급한다. 2.문제 ⓵면저항의 정의
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⓵면저항의 definition
전기공학 실험,면저항 실험,4-point probe,박막의 면저항을 측정
순서
면저항(Sheet Resistance)의 개념(槪念)을 이해하고 4-point probe를 이용하여 박막의 면저항을 측정하고 측정값과 theory 값을 비교한다. 이때 전류 I를 측정(measurement)하려면 전체 저항은 R이어야하나 실제로 전류계에 내부저항이 존재한다. 전류계의 내부저항 r이 이어야 정확히 측정(measurement)이 된다.
설명
전기공학 test(실험) - 면저항 test(실험) (4-point probe를 이용하여 박막의 면저항을 측정)
2.문제
: 탐침 간격에 대한 시료의 크기 보정계수, : 탐침 간격에 대한 시료의 두께 보정계수, : 탐침 간격에 대한 보정계수, : 온도 보정계수 이다.
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probe의 거리s와 박막의 넓이의 비에 대한 보정값 형태로 effect(영향) 을 미친다.
하지만 그림 ⓶의 경우처럼 전류를 흘려보자. 여기에도 역시 전압계의 내부저항이 존재한다. 전압계는 저항의 effect(영향) 이 큰데 이 접촉저항이 클 경우에는 전압계로 측정(measurement)값이 오차가 많이 발생하게 된다.
1.실험목적 면저항(Sheet Resistance)의 개념을 이해하고 4-point probe를 이용하여 박막의 면저항을 측정하고 측정값과 이론값을 비교한다.
결국 전류는
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point probe 에 전압을 흘리면 오차가 생기는 이유를 보자. 그림 ⓵을 보면 전류를 흘리고 전류계로 전류를 측정(measurement)하는 방식이다. 이 접촉저항을 최소화하기 위해서 4포인트 안쪽 2개에 전압계를 연결해 측정(measurement)하게 된다.
